在一定空間規模內，蘇州凈化設備會將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物掃除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電操控在某一需求規模內的工程學科。凈化工程所特別規劃的房間，不論外在空氣條件怎么變化，室內均具有堅持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

一：原理

亂流潔凈室：

亂流潔凈室的首要特點是歷來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室作業區截面構成勻速氣流。所以，送風口今后的流線互相有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不行能以單一方向活動，將會互相撞擊，將有回流、旋渦發生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是：驟變流；非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流首要決定于雷諾數，也便是首要受流速的影響，但是假如選用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即便流速極低，也要發生上述各種結果，這就由于它是一個驟變流和非均勻流。因而這種情況下不僅有流層之間因紊流活動而發生的摻混，并且還有全室規模內的大的回流、旋渦所發生的摻混。

所以，概括地說，亂流潔凈室的效果原理是：當一股潔凈氣流從送風口送入室內時，敏捷向四周擴散、混合，一起把差不多相同數量的氣流從回風口排走，這股潔凈氣流稀釋著室內污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣沖淡了，一向到達平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的技果就越好。

單向流潔凈室：

單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和筆直流。在水平流體系中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在筆直流體系中，氣流是從吊頂流向地上。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的稱號均闡明了其氣流的情況：氣流以一個方向活動（或是筆直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞，向下流經室內，帶走污染物，然后從地上排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環至高效過濾器。人員和工藝所發生的懸浮污染可當即被這種空氣鏟除掉，而紊流通風體系選用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面說到的低得多的風速，就能夠很快將污染物鏟除。但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流構成障礙。障礙物能夠使單向流變成紊流，然后在障礙物周圍構成氣流團。人員的活動也能夠使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，然后使得污染濃度較高。因而，必須將風速堅持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的規模里，以便使中斷的單向流能快速恢復，充分稀釋障礙物周圍紊流區的污染。用風速能夠正確地標明出單向流，由于風速越高室內就越潔凈。而每小時換氣次數與房間的體積有關，如吊頂的凹凸，因而不適合用來標明單向流。單向流室內的送風量是紊流室的很多倍（10到100倍）。所以這樣的潔凈室的制作和運轉費用要高得多。

二：操控

潔凈室中的溫濕度操控：

潔凈空間的溫濕度首要是根據工藝要求來確認，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，呈現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求今后還要羅列，但作為總的準則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動規模的要求越來越小。例如在大規模集成電路出產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，一起要求濕度值一般較低，由于人出汗今后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度。

濕度過高發生的問題更多。相對濕度超越55%時，冷卻水管壁上會結露，假如發生在精細設備或電路中，就會引起各種事端。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將經過空氣中的水分子把硅片外表粘著的灰塵化學吸附在外表耐難以鏟除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的效果使粒子也簡單吸附于外表，一起大量半導體器材簡單發生擊穿。關于硅片出產最佳溫度規模為35—45%。

氣壓規則：

關于大部分潔凈空間，為了避免外界污染侵入，需求堅持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的堅持一般應符合以下準則：

1、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2、潔凈度等級高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度等級低的空間的壓力。

3、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度等級高的房間。

壓力差的堅持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理含義便是漏泄（或滲透）風量經過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

潔凈室中的氣流速度規則：

這里要評論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在評論具體設備時再闡明。

關于亂流潔凈室由于主首要靠空氣的稀釋效果來減輕室內污染的程度，所以首要用換氣次數這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求：

(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間比較，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

(2)吹過水平面的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起外表微粒重返氣流，而形成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

關于平行流潔凈室（習慣上稱層流潔凈室），由于首要靠氣流的，活塞打擠壓效果掃除行染，所以截面上的速度便是非常重要的目標。曩昔都參考美國20gB規范，選用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需求的通風量是極大的，為了節能，也都在探求降低速一風速的可行性。

在我國，《空氣潔凈技術措施》和《潔凈廠房規劃規范》都是這樣規則的：

筆直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s。

水平平行流（層流）潔凈室≥0.35m/s。

研究標明以上規則基本上滿足操控污染的要求，但以為應區別不同情況分出不同的檔別，更能表現節能的意圖。

噪聲操控：

潔凈室噪聲規范一般均嚴于維護健康的規范，意圖在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯絡及安全舒適的作業環境。因而衡量潔凈室的噪聲首要目標是：

1、煩惱的效應：

由于噪聲，使人感到不安寧而發生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌喧嚷，比較喧嚷和極喧嚷7個煩惱等級。凡反響水平歸于很喧嚷和極喧嚷者，即為高煩惱，高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。

2、對作業功率的影響：

這首要看三方面的反響水平，這三個方面是：會集精力，動作準確性，作業速度；

3、對綜合通訊的攪擾：

這首要分為：清楚或滿足，稍困難，困難，不能對以上三方面目標都用A聲級來點評。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為點評規范即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超越該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音攪擾和煩惱程度更為臺適，能夠代替倍頻帶聲壓級作為點評規范的目標。

根據中國修建科學研究院修建物理研究所1981年為編制《潔凈廠房規劃規范》而進行的測定資料，在65dB(A)以下時，只要30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時，其影響對作業功率的三方面反響表現出較低水平；在60dB(A)以下說話清楚滿足。60～75dB(A)時有一定困難，犬于75dB很困難。因而以為潔凈室噪聲水平以65d)為宜，此時可使高煩惱率小于30%；保證一般通話；對作業功率影響很小。

照明操控：

由于潔凈室內的作業內容大都有精細的要求，并且又都是密閉性房子，所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先闡明一下無窗潔凈室的照明方法：

(1)一般照明

它指不考慮特別的部分需求，為照亮整個被照面積而設置的照明。

(2)部分照明

這是指為添加某一指定地點（如作業點）的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用部分照明。

(3)混合照明

這是指作業面上的照度由一般照明和部分照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房規劃規范》應占總照度的10%—15%，但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。

國外潔凈室的強度要求極高，例如美國關于潔凈室的幾個規范的要求是：

100級:1080-16001x

10000級:>lOOOlx

100000級:>1000LX

人工光300lx有較好的效果，當工件精細程度更高時，500x也是答應的。關于要紅燈照明的地方，如電子職業的光刻車間，其照度一般為25—501x，用天然光時可答應更高的照度，因而對作業是有利的，所以今后潔凈室的照明既選用人工光也選用天然光可能是有前途的，這也是為了節能而呈現的一種意向。

防靜電：

潔凈室中由于靜電引起的的事端屢有發生，因而潔凈室的防靜電能力怎么已成為點評其質量的一個不行忽視的方面。

所謂靜電，是由于沖突等原因損壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀況，而使電荷過剩，物體呈帶電狀況，由于這些電荷平時是不活動的，故稱靜電。

在潔凈室內靜電導致的事端有以下幾方面：

1、靜電電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可形成二次損傷(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2、靜電放電引起的放電電流，可導致比如半導體元件等損壞和誤動作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次后，與非門柵極嚴峻擊穿者計39塊，失功率競達78%，這是由于半導體器材對靜電放電十分活絡；

3、靜電放電發生的電磁波可導致電子儀器和設備的雜音和誤動作；

4、靜電放電的發光可導致照相肢片等感光損壞；

5、靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；

6、靜電放電引起的最風險的災禍是成為可燃物的火源井引起爆破，例如國外文獻計算，在手術室使用爆破性麻醉劑的86000次中，爆破的36次，其中由靜電引起的達21次；

靜電事端的發生首要在于靜電的發生和堆集，而氣流的活動，氣流和管道、風口、過濾器等沖突，人體和衣服的沖突，衣服之間的沖突，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，一切選些都可能發生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷發生后不易活動，因而表現為越簡單帶電。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴峻，是由于不但在潔凈室中具有前述發生靜電的多種工藝因素，并且由于潔凈室中的許多資料如塑料地上、墻面，尼龍、的確良等作業服都有很高的電阻率，都極易發生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災禍未被重視以前，這些資料料是被廣泛選用的。

效果：

操控產品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造。此空間的規劃施工進程即可稱為凈化工程。